マイクロエレクトロニクス製造施設で、ほんのわずかな埃が何百万ドルもの価値のあるチップを使い物にならなくしてしまう状況を想像してみてください。空中の微生物が貴重な研究サンプルを汚染する可能性のある生物学研究所を想像してみてください。患者の安全のために清潔な空気が不可欠な病院の手術室を考えてみましょう。これらの非常にデリケートな環境はすべて、1つの重要な機器に依存しています。それはファンフィルターユニット (FFU) です。
ファンフィルターユニット (FFU) は、ファンと高効率ろ過 (通常は HEPA または ULPA フィルター) を組み合わせた、自己完結型のモジュール式空気清浄装置です。これらのユニットは、クリーンルーム、研究所、医療施設などの制御された環境にクリーンな空気を独立して供給します。天井または床のグリッドシステムに設置された FFU は、有害な粒子を除去して空気を循環させ、浄化することで、特定のエリアの空気の質を維持または改善します。
標準的な FFU は、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。
空気を吸い込み、ろ過システムに送り込む動力源です。ファンの性能は、風量、静圧、およびエネルギー消費に直接影響します。一般的なタイプには、AC、DC、および EC (電子整流) ファンがあり、効率性と静音性から EC モデルが好まれるようになっています。
この最初のろ過段階では、埃や髪の毛などの大きな粒子を捕捉し、メインフィルターを保護し、その寿命を延ばします。
システムの心臓部であり、99.97% の粒子 (≥0.3 ミクロン) を除去する HEPA (High-Efficiency Particulate Air) フィルターまたは 99.999% の粒子 (≥0.12 ミクロン) を捕捉する ULPA (Ultra-Low Penetration Air) フィルターを使用します。
耐久性、気密性、およびメンテナンスの容易さのために設計された、通常は鋼、アルミニウム、またはプラスチック製の構造フレームです。
風量を調整するためのファン速度を調整し、高度なモデルでは、リモートモニタリング、自動調整、および障害アラートを提供します。
動作原理は簡単です。ファンが室内の空気を吸い込み、プレフィルターを通過し、次に高効率フィルターを通過した後、層流または乱流パターンで浄化された空気として戻ります。
従来の空気清浄システムと比較して、FFU は次のような大きな利点があります。
主な適用分野には以下が含まれます。
適切な FFU を選択するには、複数の要素を慎重に検討する必要があります。
清浄度要件:さまざまな業界では、半導体クリーンルームの ISO 5 から一般的な研究所の ISO 7-8 まで、特定の ISO 分類が義務付けられています。
風量と静圧:スペースの空気交換率と気流パターンのニーズを満たす必要があり、清浄度が高いほど、通常、より多くの風量が必要になります。
ファンの種類:EC ファンは、初期費用は高いものの、優れたエネルギー効率と騒音低減を提供します。
物理的寸法:既存の天井または床のグリッドシステムに一致する必要があり、一般的なサイズには 4'×2'、3'×2'、2'×2' があります。
騒音レベル:医療および研究環境では重要であり、ほとんどのアプリケーションでは 50 デシベル未満のユニットが必要です。
エネルギー消費:エネルギーコストの上昇を考えると、ますます重要な考慮事項です。
メンテナンス要件:フィルター交換の容易さと一般的なメンテナンスは、長期的な運用コストに影響します。
FFU 技術は、いくつかの新たなトレンドとともに進化を続けています。
業界がこれまで以上に高い空気清浄度の基準を要求するにつれて、FFU は、重要なセクター全体で制御された環境を維持するために不可欠であり続けています。これらのシステムの適切な選択と実装は、特定の運用要件と規制基準を満たしながら、最適なパフォーマンスを保証します。